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螺杆真空泵背景介绍

2019-06-12 08:07:00浙江申一泵业制造有限公司[3441]
螺杆式干式真空泵广泛应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产PLASMA的CVD制程。在核工业中用于核反应堆及核工业真空获得;化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂,在脂肪酸生产中用来消除水污染,清除喷射器中的阻塞物;医药工业中用于回收药液及药物中间体,为人造器官生产提供清洁无菌条件,回收气体消毒剂;食品工业中用于香料、香精浓缩,食品包装等应用范围极为广泛。

干式螺杆真空泵由于其优越的性能,在欧美和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业首选真空获得设备,日本在螺杆压缩机基础上,很早就研发出了真空泵的多头转子型线,并投入市场。德国几家真空设备公司也逐步的开发出了等螺距、变螺距转子型线,并在转子和机体冷却方面做了很多研究螺杆泵的技术关键问题
该螺杆真空泵的问世,打破了国外干式螺杆真空泵技术的垄断,使我国成为第六个掌握无油干式螺杆真空泵技术的国家,大大降低了企业的生产成本,和环保压力螺杆真空泵的设计因为不再使用密封液或大量真空油,从而降低了使用成本,减轻了环境污染,两个螺杆转子在一对同步齿轮带动下在泵腔内反向旋转,这种结构简单,单级抽气方式可有效避免工艺原料聚集或积累到泵腔内,螺杆之间及螺杆与泵体之间无接触,因此能够抽出定量的液体及较软的微小颗粒。螺杆真空泵具有较高的真空度,既可单独使用也可作为前级泵与罗茨真空泵组成中高真空系统。